MSE試験事例

-Case Study-

peret

CVD・PVD切削チップ

2種類のCVD、4種類のPVD切削チップを評価した事例です。
最表面が弱く膜内部に強弱が分布する多層膜であることが可視化できました。

■ 目的

  • ・深さ方向の強さ分布の特定
  • ・膜及び基材の強さの特定
  • ・膜厚の特定

■ サンプル

サンプル

■ 試験結果

多角アルミナ粒子1.2μm使用 標準エロージョン力

エロージョン進行グラフ(試験装置から得られる一次データ)

エロージョン進行グラフ

深さ方向に強さの変化点が複数あることがわかりました。

エロージョン率ランキング

エロージョン率分布グラフ(深さの強さ分布を示すグラフ)

各サンプルの基材と被膜のエロージョン率はこのようになっていました。

■ 評価

  • 1.深さ方向の強さ分布
    • ・すべてのサンプルで膜内部に強弱が交互に分布する多層膜であることがわかる
    • ・ほとんどのサンプルで最表面1µm程度に弱い層が存在している
  • 2.膜及び基材の強さ
    • ・成膜プロセス違いにより、膜及び基材の強さが異なることがわかる
    • ・「膜の強さ>基材の強さ」のものと「膜の強さ<基材の強さのもの、2種類がある
  • 3.膜厚
    • ・ほとんどのサンプルで膜厚は5µm以下となっている