MSE試験事例

-Case Study-

peret

硬質薄膜 元素分析との比較

多層構造の硬質薄膜を評価した事例です。
MSEで各層と基材の強さおよび界面部の強さ特定ができたことで、GD-OES元素分析と合わせて評価することができました。

■ 目的

  • ・各薄膜層の強さの特定
  • ・界面部の強さ特定
  • ・表面から深さ方向の強さ分布の特定

■ サンプル

サンプル

■ 試験結果

多角アルミナ粒子1.2μm使用 標準エロージョン力

エロージョン進行グラフ(試験装置から得られる一次データ)

エロージョン進行グラフ

強さの深さ方向の分布も多層構造であることがわかりました。

エロージョン率分布グラフ(深さの強さ分布を示すグラフ)

エロージョン率分布グラフ(深さの強さ分布を示すグラフ)
  • ・各層の強さのピークが可視化できました。
  • ・TiCとWC(基材)界面に弱い部分があることがわかりました。

GD-OESによる元素分析

GD-OESによる元素分析

TiCとWC(基材)界面のGD-OES分析結果から基材のWとCoがTiC層に拡散していることが
わかりました。

■ 評価

  • 1.TiN、TiC、WC基材と3種類の異なる材料のそれぞれの強さを数値化
  • 2.TiC/WC基材界面に弱い部分 を発見
  • 3.表面から基材まで 強さの分布をシームレスに見える化
  • 4.GD-OES分析で元素の拡散を確認