MSE試験事例

-Case Study-

peret

Low-k膜の評価事例

Siウェハ上に成膜した4種類のLow-k膜を評価しました。
膜そのものが弱すぎて評価が困難だったLow-k膜ですが、いずれも膜と基材を明確に区別して評価することができました。

■ 目的

  • ・超薄膜の強さの特定
  • ・超軟質膜の強さの特定
  • ・膜厚自体の特定
  • ・材料の比較

■ サンプル

サンプル

■ 試験結果

多角アルミナ粒子0.3μm使用 標準の1/2500エロージョン力

エロージョン進行グラフ(試験装置から得られる一次データ)

エロージョン進行グラフ

それぞれのサンプルの膜部分と基材が明確に表れました。また、3種類の強さが比較できています。
※グラフの傾きが水平に近いほど材料が強いことを表しています。

エロージョン率分布グラフ(深さの強さ分布を示すグラフ)

エロージョン率分布グラフ(深さの強さ分布を示すグラフ)

各超薄膜の厚さが特定できました。また、Cは強さが2層構造であることがわかりました。

■ エロージョン率一覧

エロージョン率一覧表

■ 評価

  • 1. 超薄膜で超軟質膜の強さ特定可能
  • 2. 超薄膜の厚さ特定可能
  • 3. 強さランキングはB >C >A となることが判明
  • 4.Cの 極表面にやや強い層を確認