MSE試験事例

-Case Study-

peret

DLC超薄膜

Siウエハ上の超薄膜の評価事例です。
大変軟らかいSiウエハ上の硬く薄いDLC膜の強さを、基材に影響されずに評価することが
できました。

■ 目的

  • ・硬質超薄膜の強さ特定
  • ・超薄膜の膜厚の特定
  • ・軟質基材上の硬質膜の計測可能能力の探索

■ サンプル

サンプル
基材 DLC
Siウェハ
0.7mm
PVD法
水素フリーDLC

■ 試験結果

多角アルミナ粒子1.2μm使用 標準エロージョン力

エロージョン進行グラフ(試験装置から得られる一次データ)

エロージョン進行グラフ

100nm以下の超硬質超薄膜を、柔らかい機材に影響されずに測れています。

エロージョン率分布グラフ(深さの強さ分布を示すグラフ)

摩耗分布率

エロージョン率は被膜が0.002µm/g、基材が約2.5µm/gと1000倍以上の違いがあっても計測できました。

参考

参考

■ 評価

  • 1.超薄膜のエロージョン率は0.002µm/g で3つの試験部位と深さ方向共に強さはほぼ一定であることが判明
  • 2.膜厚は部位によって差があり、光干渉色と一致していることが判明
  • 3.強さ比が1250:1でかつ表面が硬くても界面近傍まで計測できることを確認
  • 4.界面部の強さの変化を可視化