ソリューション事例

-Solution-

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機械的強度特性の内部分布

多角粒子の試験です。材料表面から微小エロージョンを行いながら深さ方向に進捗、表面から内部までの詳細なエロージョン率(強さ)の分布を取得、材料の出来不出来や劣化進捗や多層膜強さ分布が見える化でき、ものつくりの精密制御に役立ちます。

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機械的強度特性の内部分布の試験事例

DLC超薄膜

Siウエハ上の超薄膜の評価事例です。
大変軟らかいSiウエハ上の硬く薄いDLC膜の強さを、基材に影響されずに評価することが
できました。

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硬質薄膜 元素分析との比較

多層構造の硬質薄膜を評価した事例です。
MSEで各層と基材の強さおよび界面部の強さ特定ができたことで、GD-OES元素分析と合わせて評価することができました。

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DLCコートエンドミルの試験事例

市販されているアルミ切削用のDLCコーティングされたエンドミルをMSE試験で分析しました。

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CVD・PVD切削チップ

2種類のCVD、4種類のPVD切削チップを評価した事例です。
最表面が弱く膜内部に強弱が分布する多層膜であることが可視化できました。

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超硬チップ表面コーティングの膜質分析と耐久性評価

鋳鉄加工用超硬チップ2種類AとBに対してMSE試験を2粒子試験で全層分布を取得し、
比較評価しました。

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光学無機薄膜の内部強さ分布と変質

3種類の樹脂基材上のTiO2膜を評価した事例です。
基材が異なる超薄膜でもMSEのエロージョン力をコントロールして強さの評価と分布の可視化が
できました。

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TiO2光学薄膜の超精密膜質分析

光学薄膜を多角アルミナ粒子と球形シリカ粒子の2種類の粒子で試験を行うことにより、今まで以上に超精密な膜質の分析が可能になりました。

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2粒子で見る硬質薄膜と基材の特性

条件の異なる2つの粒子試験から、硬質薄膜および基材の特性を評価します。

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熱可塑性樹脂の熱劣化

耐熱性樹脂の劣化度を評価した事例です。
引張試験などのバルクの特性変化ではなく、強さの劣化度を表面から深さ方向の分布として見える化できました。

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メガネ用プラスチックレンズコートの強さ分布

一般的に市販されているメガネレンズのコーティングされているものを評価しました。
弱い基材上の強い被膜でも、基材の影響を受けることなくコーティング単体の評価をすることができました。

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樹脂材料の強さ比較と表面強さ分布の特定

樹脂材料の評価事例です。
各種樹脂(成型品・加工品)の表面~内部の強さ分布を取得しました。

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ゴム材質の強さ比較と表面変質層の調査

ゴム材質7種類の評価事例です。
ゴム材料のエロージョン強さの比較と、成型品表面に発生する変質層の調査を行いました。

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PBT樹脂の劣化特性評価

各種環境試験での樹脂・ゴム劣化の特性評価を行い、材料固有の劣化進行を明確にすると共に表面から内部の分布を可視化します。

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Low-k膜の評価事例

Siウェハ上に成膜した4種類のLow-k膜を評価しました。 膜そのものが弱すぎて評価が困難だったLow-k膜ですが、いずれも膜と基材を明確に区別して評価することができました。

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鉄鋼材料における硬さ相関試験法の技術解説

粒子衝突展に起こるエロージョンメカニズムを研究した結果、焼入れ組織等に関係する因子の特定が出来たことで、新たに焼入れ硬さとMSEエロージョン速度(エロージョン率)が相関する試験条件を見い出しました。

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鋼の表面処理~浅い処理~

同一材料の3種類の窒化処理を試験した事例です。
硬さ換算ソフトで、表面から深さ方向の強さ=硬さ分布が、各窒化処理で大きく異なることを可視化できました。

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窒化層の深さ方向の詳細硬さ測定

MSE試験硬さ測定アプリケーションで表面から深さ方向の詳細な硬さ分布を測定する。

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リン酸化成皮膜

ハードコート前処理のリン酸化成被膜を評価しました。被膜と基材界面部の強度分布を見ることが試験の目的です。

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熱可塑性樹脂の劣化診断

NEW

熱可塑性樹脂材料(PBT)を各種環境評価における樹脂劣化特性評価を行いました。

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めっき前の樹脂表面改質層の強さ分析

NEW

めっきの密着性向上を目指して、樹脂の表面改質度合いを精密に分析し、傾向を探索することが分析の目的です。

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