ソリューション事例

-Solution-

peret

単層の膜厚特定

表面から基材内部までの連続したデータ取得からエロージョン率の変化点を膜厚とします。
膜内部や基材表面に強さ違いがあっても可能になります。

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単層の膜厚特定の試験事例

DLC超薄膜

Siウエハ上の超薄膜の評価事例です。
大変軟らかいSiウエハ上の硬く薄いDLC膜の強さを、基材に影響されずに評価することが
できました。

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光学無機薄膜の内部強さ分布と変質

3種類の樹脂基材上のTiO2膜を評価した事例です。
基材が異なる超薄膜でもMSEのエロージョン力をコントロールして強さの評価と分布の可視化が
できました。

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TiO2光学薄膜の超精密膜質分析

光学薄膜を多角アルミナ粒子と球形シリカ粒子の2種類の粒子で試験を行うことにより、今まで以上に超精密な膜質の分析が可能になりました。

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