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試験装置の紹介

先端材料、高性能表面処理、超硬質材料、超軟質材料などの表面強さを高精度・精密に分 析可能にしたMSE試験法

MSE試験装置

材料の機械的特性試験、特に材料の最表面部の強度を、精密かつ詳細に試験・分析できます。これまでの試験法の発想を変えた“微粒子衝突方式”を採用した試験により、硬いセラミックから柔らかいプラスチックやゴムまでの、あらゆる材料の「試験・評価」を可能にしました。

ナノ~マイクロ分解能で、表面から深さ方向に強さ分布が評価可能

MSE 試験法は材料の表面強度、一層や多層のコーティング厚さ・強度・均一性これらすべての計測を可能にします。

■ 材料を切断せず深さ分布

材料の表面から物理エッチング(粒子エロージョン)しながらその時点々々の深さ部の強さを数値化します。XPSやGD-OESなどの化学分析法と同様に表面から深さ方向の強さ分布の分析・評価が可能です。

■ ナノ分解能でも高速かつ安定した試験

超微粒子が圧倒的多数(毎秒数十億個)の衝突で安定した粒子エロージョンを保証します。
設定投射粒子量により単位エロージョン深さはnmからμmまで幅広く調節可能です。

■ 基材に影響されず薄膜単体強さを評価

微小粒子と衝突時のパルス的発生応力のメカニズムが、ナノサイズエロージョンを発生させます。
微小粒子単位のエロージョンが基材や下層材質に影響を受けず膜単体の強さとして示すことが可能です。

■ 幅広い材質の試験評価

衝突により発生する試料表面の損傷はひずみ速度が100m/sと超高速ですが微小です。
この効果は硬質材であろうとゴムのように弾性体であろうとエロージョンを可能にします。

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